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随着我国电子、能源、声光及表面涂层等科学技术的发展,薄膜技术越来越为人们所重视。射频溅射能容易地制备难熔金属及介质材料的薄膜,因而国内很多单位正在开展射频溅射沉积薄膜的研究或用于成品生产,因此了解射频溅射中电磁波辐射对人体的影响及有关的防护措施是很有益的。 所谓射频溅射技术,就是把一定的高频功率加到溅射室内的阴极和阳极上,室内充以所需电离的气体(一般为氩气)。当气压在1×10-1托至5 × 10-3托时最易电离。电离后气体的离子撞击阴极上靶表面,使靶表面的原子或分子向四周飞溅,沉积到基片上就生成所需材料的薄膜。高频功… 相似文献
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