半导体器件热阻测试中的补偿修正问题分析

热阻是衡量半导体器件可靠性的重要参数。详细介绍了采用电学冷却法对半导体器件进行热阻测试时噪声的补偿修正原理。介绍了测试中存在的常规噪声和一些特殊噪声形态的区别。并针对特殊噪声形态的不同补偿修正方法进行了对比分析,结合热传导规律给出了合理的修正方法,进而获得更为准确且更具有应用性和指导性的热特性测试结果。