电驱动功率模块微纳米尺度加工新技术及应用

电驱动功率模块能够采用的一种微纳米尺度加工新技术是聚焦离子束,该技术对半导体器件能够进行微区溅射与增强刻蚀,能够在分辨率优于0.1 nm条件下对样品特定微区进行无需掩模的精确刻蚀;能够对样品表面进行薄膜沉积,便于裸芯片截面加工、导电性差或不导电样品的SEM形貌观察;能够进行裸芯片截面加工及观察,有效结合裸芯片截面研磨工艺实现三代半导体材料工艺器件截面加工技术的全覆盖;能够进行半导体材料改性及器件研制,具有无需掩模版和感光胶层并简化工艺流程等优点。