基于光声光谱技术的氟化氢气体检测仪的研究

环境污染源排放的氟化氢气体具有腐蚀性强,环境危害性大,排放浓度低的特点。为了实现污染源中排放量低,污染严重的氟化氢气体痕量检测,研制了一种基于光声光谱(PAS)检测原理的污染源氟化氢气体检测仪。通过研究氟化氢气体的特征性吸收波段为1.3μm,并采用谐振环的光谱优化技术实现仪器对氟化氢的选择性吸收。同时通过研究品质因子,共振频率,声压大小及共振腔长的关系和光声池材料的选择,完成了光声池的结构设计。实验结果表明,该仪器的光声信号和气体浓度成良好的线性关系,且灵敏度达到0.08μL/L,系统重复性为1.14%,系统稳定性为4%,同时也表明选用耐腐蚀性强的ZnSe玻璃作为光声池材料使得该检测仪具有抗干扰能力强的特点,能广泛应用于环境中气体污染源的监测。