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| 固体吸附热脱附气相色谱质谱法测定半导体行业废气中的VOC_S | |
| 作者姓名： | 沈咏洁 徐建平 夏琴 张小莉 高晓强 |
| 作者单位： | 上海市浦东新区环境保护监测站,上海,201200 |
| 摘 要： | 采用固体吸附热脱附气相色谱质谱法对半导体行业废气中的VOCs进行了测定,每个分析物质的方法捡出限0.02mg/m3,回收率73%～123%,线性范围宽. |
| 关 键 词： | 固体吸附 热脱附 气相色谱质谱法 挥发性有机物 废气 |
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