俄歇电子能谱仪及其应用

一、前言 最近五、六年来,俄歇电子能谱仪成了固体材料分析的有力工具,在国外广受重视。俄歇电子是1925年由 Piere Auger 首先发现的。俄歇电子是电离化原子退激发时逸出的低能电子(目前受注意的是2000ev 以内的电子),这些电子的能量是由相关的原子能级决定的,每个元素都有其特征俄歇谱,并与原子所处化学环境有密切关系。