| 上海市半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究 |
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| 引用本文： | 徐捷,魏海萍,修光利,伏晴艳,吴迓名,李炎,王歆文.上海市半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究[J].上海环境科学,2007,26(5):198-202. |
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| 作者姓名： | 徐捷 魏海萍 修光利 伏晴艳 吴迓名 李炎 王歆文 |
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| 作者单位： | [1]上海市环境监测中心,上海200030 [2]华东理工大学,上海200237 |
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| 摘 要： | 采用工艺调查与现场监测相结合的方法，研究了半导体行业废气排放中挥发性有机物（VOCs）的种类和排放水平。结果表明，共检测出26种有机物，其中以异丙醇排放量最大。采用排放系数法估算了2004年上海市半导体行业VOCs的排放量和2010年的预期排放量，并提出了加强和完善排放标准及清洁生产等控制措施的建议。
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| 关 键 词： | 挥发性有机物 半导体制造 排放速率 |
A Study on Emission Pattern of Volatile Organic Compounds (VOCs) from Semiconductor Manufacturing Industry |
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