|
|||||
|
|
| YS—1型NOx高效净化装置 | |
| 引用本文： | 余德金.YS—1型NOx高效净化装置[J].环境保护,1994(10):37-38. |
| 作者姓名： | 余德金 |
| 作者单位： | 长沙韶光微电子总公司 |
| 摘 要： | YS-1型NO_x高效净化装置对灯丝溶丝与其他腐蚀工艺中瞬间产生的高浓度NO_x废酸气,能在工艺过程中有效进行分解、净化,对于少量未被分解吸收的NO_x和其他配酸、加热等工艺中产生的其他废酸气则通过净化塔与专用与高效吸收剂进行吸收与分解,从而达到高效净化之效果. |
| 关 键 词： | YS－1型 NOx 净化装置 废气 吸收 分解 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |