| 薄膜涂覆过程中缺陷的形成及其防治措施的研究进展 |
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| 引用本文： | 刘赵淼,金艳梅,刘华敏.薄膜涂覆过程中缺陷的形成及其防治措施的研究进展[J].安全与环境学报,2008,8(3):135-139. |
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| 作者姓名： | 刘赵淼 金艳梅 刘华敏 |
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| 作者单位： | 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京,100022;北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京,100022;北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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北京市人事局留学回国人员择优资助项目 |
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| 摘 要： | 薄膜缺陷会降低薄膜器件的使用性能,因此薄膜缺陷的产生机理和防治措施研究非常重要.综述了薄膜涂覆中缺陷的分类及其形成,分析了产生缺陷的影响因素,并对主要缺陷的防治方法作了总结.对防治方法进行机理分析,总结了去除非连续缺陷过程中的注意原则.结果表明,薄膜缺陷分为连续性缺陷和非连续性缺陷,连续性缺陷最重要的影响因素是表面溶液的蒸发和表面张力的变化,可以通过设计涂覆溶液和涂覆模具最大程度地避免.非连续性缺陷中最主要的缺陷是气泡和杂质,气泡可以通过去气和去泡两种方式去除,杂质可以过滤去除.研究表明薄膜涂敷中缺陷防治需要从试验和数值计算着手,结合理论研究探讨产生缺陷的内在机理.
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| 关 键 词： | 应用流体力学 涂覆 薄膜 缺陷 防治措施 |
| 文章编号： | 1009-6094(2008)03-0135-04 |
| 修稿时间： | 2007年5月18日 |
Progress on formation and prevention of defects in thin film coating |
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| LIU Zhao-miao,JIN Yan-mei,LIU Hua-min.Progress on formation and prevention of defects in thin film coating[J].Journal of Safety and Environment,2008,8(3):135-139. |
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| Authors: | LIU Zhao-miao JIN Yan-mei LIU Hua-min |
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