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| 国内外集成电路制造业PFCs排放量计算方法的对比研究 | |
| 作者姓名： | 杨杰雄 杨庆宇 李三良 杨永刚 |
| 作者单位： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 摘 要： | 全氟化物(PFCs)是《京都议定书》确定的6种温室气体之一,大多数PFCs具有极高的全球暖化潜势值,在集成电路制造过程中会排放大量的PFCs。通过分析目前国内外集成电路制造行业PFCs排放量的计算方法,对比了其异同点及优劣性,可为我国企业提高其计算准确度提供借鉴,也为进一步改进计算方法提出了建议。 |
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