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加速度传感器声灵敏度测试技术研究
引用本文:潘启铭,郑术力,范程刚.加速度传感器声灵敏度测试技术研究[J].环境技术,2023(9):158-162.
作者姓名:潘启铭  郑术力  范程刚
作者单位:工业和信息化部电子第五研究所
基金项目:国家重点研发计划-微纳传感器芯片及封装特性原位测试技术课题,项目编号:2020YFB2008902;
摘    要:本文对加速度传感器的声灵敏度产生原因进行分析,介绍了以纯音噪声声场的声灵敏度测试系统。通过实验对声灵敏度由声场声压级变化和频率变化的响应进行研究,提出一种随机噪声声灵敏度合成模型,并对模型进行技术研究。

关 键 词:声灵敏度  纯音噪声  合成模型
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