多物理场下压力传感器失效分析方法

由于电力场景的复杂应用环境，应用于其中的压力传感器会面临温度，压力以及电场等多物理场的同时作用的考验，进而导致传感器失效。为分析压力传感器的失效机理，本文首先分析压力传感器的工作原理并基于此设计仿真，以获取压力传感器材料的屈服断裂特性；接下来基于有限元法对其进行力热电多物理场仿真分析，获取传感器在-50℃,20℃,40℃,60℃时和200kPa恒压下的输出电压，其中输出电压即代表着传感器灵敏度。仿真结果表明随着温度的升高，压力传感器的输出电压也随之升高，因此温度的变化会影响传感器的灵敏度。