非晶硅太阳电池背电极解决方案

综述了以AZO靶为靶材制备非晶硅太阳电池背电极的制备技术，系统的研究了在AZ0背电极的制备过程中各工艺参数，如氩气流量、直流磁控溅射功率、传输速度对其光电特性的影响，通过工艺参数的调整，确认将AZO背电极的特性控制在满足产品标准特性要求的膜厚及方块电阻的工艺参数，与后续的激光刻划形成良好匹配，最终使非晶硅太阳电池电性能稳定。