单向流洁净室洁净度控制方法 |
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作者单位: | ;1.株洲南车时代电气股份有限公司 |
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摘 要: | 分析了MAU(新风空调箱)+FFU(风机过滤单元)+DC(干冷盘管)类型的单向流洁净室洁净度的影响因素,主要有洁净室内发尘量、换气次数、房间正压、过滤器效率、气流组织均匀性,并结合大功率IGBT器件生产的特点,介绍如何从这5个方面对洁净度进行控制。
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关 键 词: | 单向流洁净室 洁净度 控制方法 |
CLEANLINESS CONTROL METHOD OF UNIDIRECTIONAL AIRFLOW CLEAN ROOM |
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