含砷(Ⅴ)废王水回收再利用 |
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引用本文: | 许坤,贺兆棋,董慧茹,郑式云,胡振启,毛美洲,曹福苍.含砷(Ⅴ)废王水回收再利用[J].环境工程学报,1984(9). |
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作者姓名: | 许坤 贺兆棋 董慧茹 郑式云 胡振启 毛美洲 曹福苍 |
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作者单位: | 中国科学院环境化学所
(许坤,贺兆棋,董慧茹,郑式云,胡振启,毛美洲),中国科学院环境化学所(曹福苍) |
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摘 要: | 半导体元件工厂扩故与外延工艺中,用王水洗涤被As沾污的石英管,目的在于回收昴贵的石英管,但是得到的含As(V)废王水却成了一难题,砷含量高,酸度高,不好处理。1978年,我们采用蒸馏吸收法,回收王水并再利用,使As无害化,基本上解决
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