| 固体吸附热脱附气相色谱质谱法测定半导体行业废气中的VOC_S |
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| 引用本文： | 沈咏洁,徐建平,夏琴,张小莉,高晓强.固体吸附热脱附气相色谱质谱法测定半导体行业废气中的VOC_S[J].中国环境监测,2009,25(4). |
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| 作者姓名： | 沈咏洁 徐建平 夏琴 张小莉 高晓强 |
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| 作者单位： | 上海市浦东新区环境保护监测站,上海,201200 |
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| 摘 要： | 采用固体吸附热脱附气相色谱质谱法对半导体行业废气中的VOCs进行了测定,每个分析物质的方法捡出限0.02mg/m3,回收率73%～123%,线性范围宽.
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| 关 键 词： | 固体吸附 热脱附 气相色谱质谱法 挥发性有机物 废气 |
Determination of Volatile Organic Compounds in Semiconductor Industry Exhaust Gas Using Active Sampling Onto Sorbent Tubes by GC-MS |
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| SHEN Yong-jie,et al.Determination of Volatile Organic Compounds in Semiconductor Industry Exhaust Gas Using Active Sampling Onto Sorbent Tubes by GC-MS[J].Environmental Monitoring in China,2009,25(4). |
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| Authors: | SHEN Yong-jie |
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| Institution: | Pudong New Area Environmental Monitoring Station;Shanghai 200135;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Solid adsorption Heating desorption GC-MS VOCs Exhaust gas |
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