| 一种新型CO气敏双层薄膜材料 |
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| 引用本文： | 刘文利,俞琳,高建华,李蕾.一种新型CO气敏双层薄膜材料[J].中国环境监测,2001,17(5):46-48. |
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| 作者姓名： | 刘文利 俞琳 高建华 李蕾 |
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| 作者单位： | 山东大学物理与微电子学院, |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型结构 CO气敏的半导体薄膜材料——粉末溅射方法制备的表面层掺杂 Sn O2 /Sn O2 ∶ Pt双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响 ,并对气敏机理的有关问题进行了讨论
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| 关 键 词： | 粉末溅射 薄膜 传感器 |
| 文章编号： | 1002-6002(2001)05-0046-02 |
| 修稿时间： | 2000年12月2日 |
A new type of double-layer thin film material for co gas sensing |
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| LIU Wen li,et al.A new type of double-layer thin film material for co gas sensing[J].Environmental Monitoring in China,2001,17(5):46-48. |
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| Authors: | LIU Wen li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | powder sputtering thin film gas sensor |
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