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| 刀具氮化钛(TiN)的PCVD工艺通过技术鉴定 | |
| 引用本文： | 刘兴隆.刀具氮化钛(TiN)的PCVD工艺通过技术鉴定[J].装备环境工程,1990(3). |
| 作者姓名： | 刘兴隆 |
| 作者单位： | 五九所科技委 |
| 摘 要： | 由多方专家组成的鉴定委员会于1990年6月25日在机电部重庆五九研究所对在刀具上涂覆TiN的等离子体化学气相沉积(PCVD)新工艺进行技术鉴定。该工艺是八十年代问世的一种低温化学气相沉积新工艺。由于该工艺具有物理气相 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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