| 多层沉积SiC涂层与石墨基体的界面表征 |
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| 引用本文： | 朱阳,张祎,闫联生,崔红.多层沉积SiC涂层与石墨基体的界面表征[J].装备环境工程,2019,16(10):59-63. |
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| 作者姓名： | 朱阳 张祎 闫联生 崔红 |
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| 作者单位： | 西北工业大学 材料学院,西安,710072;西安航天复合材料研究所,西安,710025;西北工业大学 材料学院,西安 710072;西安航天复合材料研究所,西安 710025 |
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| 基金项目： | 国防基础科研项目(JCKY2017203C042)；国防科技创新特区项目(18H86303ZT00501601)；西安航天复合材料研究所预先研究项目(79999900049902) |
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| 摘 要： | 目的制备并表征在柔性石墨纸基体上化学气相沉积(CVD)的多层SiC涂层,及其界面结构、界面处的元素分布等。方法以柔性石墨纸为基体、甲基三氯硅烷(MTS)为硅源、H2为载气和还原剂、Ar为稀释气,在1030～1070℃温度区间通过真空感应高温炉在石墨基体上分5次制备了多层SiC涂层。通过SEM和EDS表征并分析该涂层的表面结构和切面结构,以及涂层与基体界面处的元素分布。结果在石墨基体上有效制得了多层SiC涂层,获得的SiC涂层具有明显的两级颗粒结构。经EDS分析确认,在不同沉积层,C与Si的比例的不同。结论实验证实SiC与基体石墨具有良好化学相容性。SiC涂层表面表观致密,纳米尺度堆积颗粒表观致密,但在微米尺度的堆积颗粒间存在空隙。多层涂层间具有1～3μm的不致密SiC间隙。涂层一侧距界面10μm处的元素分布显示,Si和C元素化学计量比趋近于1︰1,可以认为是涂层的过渡层。
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| 关 键 词： | 多层SiC涂层 界面 化学气相沉积 石墨纸 |
| 收稿时间： | 2019/5/30 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/6/14 0:00:00 |
Interface between Multi-layered CVD SiC Coating and Its Graphite Substrate |
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| ZHU Yang,ZHANG Yi,YAN Lian-sheng and CUI Hong.Interface between Multi-layered CVD SiC Coating and Its Graphite Substrate[J].Equipment Environmental Engineering,2019,16(10):59-63. |
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| Authors: | ZHU Yang ZHANG Yi YAN Lian-sheng and CUI Hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-layered SiC coating interface chemical vapor deposition graphite paper |
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