|
|||||
|
|
| 半导体制造业的环境污染与清洁生产 | |
| 引用本文： | 余刚,罗玉.半导体制造业的环境污染与清洁生产[J].环境保护,2000(8):36-37. |
| 作者姓名： | 余刚 罗玉 |
| 作者单位： | 清华大学环境科学与工程系,北京,100084 |
| 摘 要： | 在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上，讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径，介绍了一些成功的清洁生产方案。 |
| 关 键 词： | 半导体制造业 清洁生产 环境污染 无污染工艺 |
Environmental Pollution of Semiconductor Industry and Cleaner Production |
|
| Yu Gang.Environmental Pollution of Semiconductor Industry and Cleaner Production[J].Environmental Protection,2000(8):36-37. | |
| Authors: | Yu Gang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |