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| 半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用 | |
| 引用本文： | 潘勇伟,步德薪,何锡祯.半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用[J].江苏环境科技,2005,18(Z1):64-66. |
| 作者姓名： | 潘勇伟 步德薪 何锡祯 |
| 作者单位： | 1. 济宁市环境监测站,山东,济宁,272045 2. 济宁市环境科学研究所,山东,济宁,272045 |
| 摘 要： | 针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、pH值、药剂投加量、反应搅拌强度等进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放. |
| 关 键 词： | 半导体集成电路 电镀废水 酸碱废水 pH值控制 |
| 修稿时间： | 2005年8月24日 |
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