净化环境对集成电路成品率的影响

净化技术是集成电路的重要工艺,如净化等级达不到要求,集成电路的成品率则会很低或甚至等于零。我国集成电路的集成度上升缓慢的原因之一是净化水平不高。本文初步分析净化问题对集成电路成品率的影响,并介绍国内外净化技术水平。