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| GaAs PHEMT器件的可靠性评估方法研究 | |
| 引用本文： | 许燕,邓文基,黄云.GaAs PHEMT器件的可靠性评估方法研究[J].环境技术,2008,26(3). |
| 作者姓名： | 许燕 邓文基 黄云 |
| 作者单位： | 1. 华南理工大学物理科学与技术学院;电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 2. 华南理工大学物理科学与技术学院 3. 电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 |
| 摘 要： | 本文从GaAs PHEMT器件的失效机理出发,总结了PHEMT器件的几种可靠性评估方法:利用沟道区碰撞电离率对PHEMT器件的热电子退化的评估方法、高频C-V法对肖特基势垒接触退化的可靠性表征方法、用于欧姆接触退化表征的温度斜坡快速评价方法以及2DEG结构引起PHEMT器件失效的可靠性评估方法. |
| 关 键 词： | PHEMT 失效机理 可靠性评估方法 |
The Analysis of Evaluation Methods in GaAs PHEMT Devices' Reliability |
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| XU yan,DENG Wen-ji,HUANG Yun.The Analysis of Evaluation Methods in GaAs PHEMT Devices'' Reliability[J].Environmental Technology,2008,26(3). | |
| Authors: | XU yan DENG Wen-ji HUANG Yun |
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| Keywords: | |
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