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高功率微波下GaAs PIN限幅器的损伤机理分析
引用本文:高金环,黄杰,席善斌.高功率微波下GaAs PIN限幅器的损伤机理分析[J].环境技术,2019(3).
作者姓名:高金环  黄杰  席善斌
作者单位:中国电子科技集团公司第十三研究所;国家半导体器件质量监督检验中心
摘    要:GaAsPIN限幅器是置于通信接收前端抗电磁扰动的重要部件。本文对经受高功率微波后GaAsPIN限幅器损伤形貌的观察,结合其损伤机理分析,揭示了PIN二极管易于损伤的位置以及造成界面损伤的机理,对于GaAsPIN限幅器设计和工艺改进具有一定的指导意义。

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