| 集成芯片制造业环境污染的产生与危害 |
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| 引用本文： | 颜丽辉,吴银彪.集成芯片制造业环境污染的产生与危害[J].中国环保产业,2002(4):28-29. |
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| 作者姓名： | 颜丽辉 吴银彪 |
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| 作者单位： | 中国人民解放军环境科学研究中心,北京,102205 |
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| 摘 要： | 本文分析了集成芯片制造过程中产生的环境污染及对人类健康的危害，对控制此类污染提出了建议。
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| 关 键 词： | 芯片 制造业 环境污染 污染防治 危害 |
| 文章编号： | 1006-5377(2002)04-0028-02 |
Emergence and Harm of Environmental Pollution in Integrated Chip Manufacture |
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| YAN Li-hui,WU Yin-biao.Emergence and Harm of Environmental Pollution in Integrated Chip Manufacture[J].China Environmental Protection Industry,2002(4):28-29. |
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| Authors: | YAN Li-hui WU Yin-biao |
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