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193nmArF激基体激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,已成为高技术领域的研究热点.本文介绍了近年来几种主要的紫外光致抗蚀剂及其研究进展,对ArF激基体激光(193nm)光致抗蚀剂的各个组分进行了归纳综述.并指出,通过改进感光高分子的结构与组成,可以获得性质优良的抗蚀剂,给分析、研究工作以助益. 相似文献
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激光散射技术对絮凝剂分子性能的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍以激光散射技术对絮凝剂进行的研究。利用激光散射技术实现了对絮凝剂胶体分子粒径、形态结构和粒径分布的精确测量,从而对评价该絮凝剂的沉降性能及有关性能的改进提高起指导作用。 相似文献
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为研究高温热载荷作用下高超声速导弹舵面结构模态频率和振型随温度变化的变化规律。采用基于激光测振技术的热模态试验和有限元分析相结合的方法对导弹舵面结构的热模态特性进行了研究,对舵面结构进行了热模态有限元分析,设计了一套热模态试验系统进行了热模态试验,将激光测振技术应用于振动响应测试,设计制作了石英灯高温加热箱,设计制作了施加激振力的水冷激振杆,设计了用于激光测振的移动平台。利用有限元仿真分析与试验相结合的手段,获得了舵面结构在不同高温环境下的模态频率和振型,并分析出模态频率和振型变化规律,取得了较好的效果。 相似文献
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随着频率选择表面(FSS)的广泛应用,精确的制备和测量技术验证理论分析日趋重要。本文采用丝网印刷法和激光加工法实现了计算中采用的频率选择表面周期单元的制备。基于Agilent E8257D信号发生器、Agilent E7405A频谱分析仪,采用传输法对制备的不同尺寸频率选择表面进行测试,得到了各种频率选择表面的频响特性。通过比较测试和仿真结果,验证了频率选择表面结构参数对频响特性的影响规律的正确性。同时,比较测试和仿真结果,得出激光加工法获得的频率选择表面精度更高的结论。 相似文献
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针对目前激光位移传感器校准所存在的精度低、校准局限性大等诸多问题,本文提出了一种激光位移传感器动态幅值校准的方法。本校准方法首先采用电磁振动台激励标准结构件进行量级放大,以产生特定高频的大位移振幅;然后基于多普勒效应的激光测振仪测得的位移作为标准量,对激光位移传感器的动态幅值进行校准;最后通过一系列不同共振频率的标准结构件对不同频率下的位移振幅校准进行试验研究。研究结果表明:与现有技术相比较,本文提出的激光位移传感器动态幅值校准方法可对激光位移传感器不同频率下的动态幅值进行精确校准,对工程实际应用具有重要价值。 相似文献
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美国科研人员2016年2月11日宣布,他们利用激光干涉引力波天文台(LIGO)于去年9月首次探测到引力波,证实了爱因斯坦100年前所做的预测。这本是科学界的一项发现,却没想到在中国引发一股社会热潮,各种恶搞、花边轮番上演。人民日报刊文称这是新媒体对于科学发现的"助攻"作用。 相似文献