半导体企业环境风险防范措施建议

当前国际形势下,中国半导体行业不断创新发展。由于半导体行业的工艺技术特点,生产过程中必然涉及各类易燃易爆、有毒有害化学品。根据半导体生产行业特征及其环境风险水平,提出环境风险预防、控制、减缓措施,明确环境风险防范及应急要求,运用科学的技术手段和管理方法,尽可能降低环境风险事故发生。     

不同工况下飞机液冷车制冷换热系统PID控制的建模与仿真

目的解决现有研究只考虑单一制冷工况,导致数学模型建立不精确,对飞机液冷车控制系统PID控制效果产生较为不利影响这一问题,提高控制系统的控制能力。方法根据飞机的保障需求和飞机液冷车的具体工况,分别建立制冷和制热两种工况下制冷换热系统的数学模型,并利用Simulink进行仿真研究。结果与单一制冷工况下所建立的数学模型相比,两种工况下所建立的数学模型其PID控制在制冷、制热工况下响应时间分别为2.1,3.1 min,短于单一制冷工况下所建立的数学模型(2.8,4.5 min)。系统误差分别为0.75%,0.51%,低于单一制冷工况(1.5%,0.71%)。结论在两种工况数学模型下的PID控制在响应速度、控制精度等方面均显示出更好的控制能力,具有良好的军事和工业应用前景。     

高温独头巷道人工制冷降温效果的优化研究*

为优化移动式人工制冷设备在高温独头掘进巷道工作面的制冷效果,通过设置风障形成密闭制冷空间,利用数值计算的方法,分别分析风障距工作面距离、回风管压力、回风管垂直高度对掘进工作面制冷效果的影响。研究结果表明:设置风障能够有效缩小制冷空间,阻隔热量,提高制冷效果;风障与工作面之间的距离对制冷效果有显著影响,风障的最佳布置距离为5 m;回风口压力过大或过小都不利于制冷效果,最佳压力为-70 Pa;回风管垂直高度不同,制冷效果也大有不同,其最佳高度为1 m。利用数值模拟所得工况参数进行现场试验,结果表明风障在高温独头掘进巷道降温中具有良好的实际应用效果。研究结果对高温矿井人工制冷工况优化,提高制冷效果具有指导意义。     

模拟环境传热性能试验室的研制

试验室由室外、室内构成,外室由空气处理机组模拟户外气候环境,内室配置温度、湿度、风速、热流计等传感器,测量由模拟空气调节器发出的热量,以对流和辐射的方式通过被测件传递到室外的能力。适用欧标、美标和国标试验要求。试验室用于测试各种部件和整体构件的环境传热性能,以减少空调能耗,提高节能水平。     

MOx颗粒活性炭镀层粒子电极对苯酚的电催化降解特性

为研究半导体金属氧化物颗粒活性炭镀层粒子电极苯酚电催化性能,采用溶胶-凝胶、氧化还原与热分解方法,将TiO₂、MnO₂与SnO₂-Sb和SnO₂-Sb-Mn纳米金属氧化物镀层于AC(颗粒活性炭)表面,制备了催化型粒子电极,使用X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)及循环伏安曲线(CV)对其物相组成、微观形貌及电催化活性进行表征与分析. 结果表明,这4类金属氧化物可以不同赋存状态存在于AC表面,粒子电极表面活性组分晶格尺寸分别为10.64、11.34、14.68及13.50 nm;催化型粒子电极电催化活性明显高于未负载AC,各粒子电极电催化活性顺序为SnO₂-Sb-Mn/AC>TiO₂/AC>SnO₂-Sb/AC>MnO₂/AC. 半导体金属氧化物镀层可提高填充床电极反应器苯酚废水的催化降解性能,废水苯酚及COD_Cr去除率显著提升,TiO₂/AC、MnO₂/AC、SnO₂-Sb/AC及SnO₂-Sb-Mn/AC粒子电极在电流密度为8.0 mA/cm2的条件下连续电解2.72 h,出水苯酚及COD_Cr去除率分别为87.1%、92.8%、90.4%、100.0%和92.5%、89.3%、88.7%、97.2%,高于AC粒子电极的84.2%和79.1%,并且可消除苯酚电催化反应中醌类物质积累.      

我国半导体工业的产品代谢研究

利用产品代谢分析方法首次对我国半导体工业的整体硅元素和能源利用率进行了定量研究.根据我国半导体工业的产品代谢模型计算得出2002年我国半导体工业的硅元素利用率为2.6%,每生产1 kg硅总能耗为5 704kW·h,而1998年全球半导体工业硅元素平均利用率为9.6%,生产1kg硅总能耗为2 130 kW·h.进一步在产品链和关键环节分析基础上,确定了我国在硅元素利用率和能源利用率上与世界平均水平差距最大的环节.通过成因分析,提出了改善措施和途径.      

制冷装置制冷剂检漏技术的研究

讨论了制冷系统制冷剂的检漏方法,制冷系统安装调试过程中使用的制冷剂压力检漏技术、真空检漏技术以及制冷系统正常运行过程中的制冷剂检漏技术,这些技术对制冷装置的操作与调试人员具有重要的参考价值.     

Analysis of a solar photovoltaic-assisted absorption refrigeration system for domestic air conditioning

Theoretical model of a solar photovoltaic integrated water-Lithium bromide absorption system is presented for domestic air conditioning. Surplus electrical energy from photovoltaic modules is used for charging the battery, which is utilized during the periods of zero or insufficient solar radiation. Minimum solar area required for each month is calculated and October is identified as the month requiring the highest area of photovoltaic arrays for a constant cooling load of 3.5 kW. The integrated system is found to be capable of sufficient amount of surplus electrical energy generation during both summer and winter months, with a daily excess of about 815 Ah of electrical energy on average over a complete calendar year. Designed system is found to be economically viable, having an energy payback period of 2.7 years.     

Abatement of waste gases and water during the processes of semiconductor fabrication

The purpose of this article is to examine the methods and equipment for abating waste gases and water produced during the manufacture of semiconductor materials and devices. Three separating methods and equipment are used to control three different groups of electronic wastes. The first group includes arsine and phosphine emitted during the processes of semiconductor materials manufacture. The abatement procedure for this group of pollutants consists of adding iodates, cupric and manganese salts to a multiple shower tower ( MST ) structure. The second group includes pollutants containing arsenic, phosphorus, HF, HCI, NO2, and SO3 emitted during the manufacture of semiconductor materials and devices. The abatement procedure involves mixing oxidants and bases in an oval column with a separator in the middle. The third group consists of the ions of As, P and heavy metals contained in the waste water. The abatement procedure includes adding CaCO3 and ferric salts in a flocculation-sedimentation compact device equipment. Test results showed that all waste gases and water after the abatement orocedures oresented in this article passed the discharge standards set by the State Environmental Protection Administration of China.     

臭氧发生系统中半导体制冷干燥装置的研制

本文介绍了未经过干燥处理的原料气进入电晕放电臭氧发生系统后的危害机理 ,根据半导体的制冷干燥机理 ,开发研制了实验室用半导体制冷干燥装置 ,实验证明该装置的研制是成功的。