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193nmArF激基体激光光刻是21世纪提高超大规模集成电路(VLSI)集成度的一项关键技术,已成为高技术领域的研究热点.本文介绍了近年来几种主要的紫外光致抗蚀剂及其研究进展,对ArF激基体激光(193nm)光致抗蚀剂的各个组分进行了归纳综述.并指出,通过改进感光高分子的结构与组成,可以获得性质优良的抗蚀剂,给分析、研究工作以助益. 相似文献
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目前鞍钢在用的电除尘器大多采用侧部摇臂锤振打,存在振打机构故障率高、清灰效果逐渐下降的缺点。因而声波清灰作为辅助清灰可大大提高电除尘器的除尘效率,降低排放浓度,完全具备推广应用条件。 相似文献
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介绍了安徽洛河电厂1号机组电除尘器改造,其一、二电场采用EE型阳极板振打方式后的运行效果,对运行中出现的阳极板撕裂问题进行技术分析,并提出改进建议。 相似文献
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电除尘器粉尘层反电晕击穿厚度理论与试验 总被引:1,自引:0,他引:1
为了合理地确定静电除尘器清灰振打周期,通过理论与试验方法确定静电除尘器粉尘层反电晕击穿厚度很有必要的。首先基于静电学理论导出带电粉尘层内的电量分布和电场分布数学模型,然后根据粉尘层反电晕发生条件,得出粉尘层反电晕击穿厚度的计算式,结果表明,反电晕击穿厚度是粉尘比电阻、电晕电流密度及极配的函数。通过对高比电阻不同厚度的粉尘层的反电晕击穿试验研究,结果表明,各击穿点的连线呈较连续光滑的弧线,提出了利用伏安特性曲线确定粉尘层反电晕击穿厚度的简易图解法。 相似文献
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介绍了EE型电除尘器在安徽准北发电厂200MW发电机组配套锅炉上的应用情况以及处理高比电阻粉尘的方法。 相似文献
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在竖向点源作用下 ,地基表面的竖向振动随着源距的增大而衰减 ;但因在近振源区域受体波 (P波、S波 )影响大而在较远处受表面波 (R波 )控制 ,近、远场地表振动的定量衰减规律存在着较大的差异 ,可靠地确定近—远场的分界线便具有重要的学术和应用价值。本文在综述既有研究成果的基础上 ,通过比较Lamb问题的精确解和瑞利近似解 ,较为系统地对这一问题进行了分析 ,结果表明 :由地表竖向位移振幅确定的近—远场分界线较由其相位确定的为远 ,前者源距将随地基泊松比的升高和容许误差的减小而增大且目前的常见取值明显偏小 ,后者与地基泊松比的变化几乎无关。之所以分界线源距随地基泊松比升高而增大 ,主要是由于此时的P波波长增大的影响比S波和R波波长增大的影响要大而造成的。 相似文献