摇摆腐蚀机

我厂在半导体器件生产中,采用人工腐蚀硅片。为了使硅片腐蚀均匀,操作人员将放在盛有冰块的搪瓷盆内的腐蚀铝锅用手上下不停的摇动。每次腐蚀的时间少则10几分钟,多则40几分钟,不仅劳动强度较大,而且氢氟酸和硝酸溶液的浑发气体对人体危害较大。为了解决这一问题,我厂自行设计并制造了一种Z350型摇摆腐蚀机。 腐蚀机的结构见图。它的工作原理是,当操作人员做完腐蚀前的准备工作后,按动开关,电动机1启动旋转,通过弹性联轴器2将动力传递给蜗杆3.经蜗杆、蜗轮14减速后,带动与蜗轮轴9直接联接的腐蚀盆12同轴旋转。与此同时,横臂8随蜗轮轴同时旋…