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探讨薄膜液晶显示屏行业与半导体芯片厂废磷酸基蚀刻液的异同,对薄膜液晶显示屏行业产生的磷酸基蚀刻液废液的产生背景和处置利用方式进行了研究.通过研究、分析和实践提出了一种半导体芯片厂废磷酸蚀刻液的资源利用工艺:找出了一种絮状物去除剂A,使用试剂A可将废磷酸基蚀刻液中的絮状物通过化学反应的方式去除,将絮状物除后的磷酸经过中和... 相似文献
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