PESD测试中静电枪表现的性能的研究

在本文中,我们介绍了两种不同类型的ESD静电枪(ESS-200AX和ESD 3000),分别用两种ESD静电枪对芯片进行抗干扰度测试,研究两种类型的ESD静电枪对同种样本芯片表现的性能。结果显示,对于完全符合IEC 61000-4-2要求的不同的ESD静电枪表现出不完全的一致性。为了比较IC的ESD性能,我们目前主要采用同一系列的芯片采用相同的ESD静电枪进行测试。