失效磷酸基化学抛光液的再生

采用氟铝酸钠沉淀法去除失效磷酸基化学抛光液中的铝杂质,并对溶液再生利用的工艺条件进行了研究.实验结果表明,在氢氧化钠和氢氟酸加入量与理论值的比均为1.2(即n(氢氧化钠):n(Al~(3+)):2:1、n(氢氟酸):n(Al~(3+))=28:5)的条件下,采用二步法过滤后,抛光液中磷酸质量分数大于50%,磷酸回收率为79.5%,Al~(3+)去除率为97.1%,剩余Al~(3+)质量分数为0.05%.滤渣经处理后成为新的有价物质,滤液在补加磷酸和其他有效成分后可再生循环使用.