静电放电参数随电极移动速度和空气压强变化的特性分析

在小间隙静电放电(ESD)中,电极移动速度和气体压强会对测量放电参数出现的低重复离散特性产生影响。基于自主研发的新型测试系统,完成气体压强变化和向放电靶移动电极放电相关参数的测量。静电放电模拟器移动距离控制范围在10cm-40cm。在间隙气体压强变化和放电枪以不同速度向靶移动放电的两种情况下,放电电流峰值和波形产生了显著的差异,证明了电极移动速度和空气压强都对放电参数产生显著影响。本文对放电参数受电极移动速度和气体压强变化而出现显著差异的可能机制进行了初步分析。