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| 微机电系统让胃镜变胶囊 | |
| 摘 要： | <正>利用黄光微影、掺杂、薄膜成长、蚀刻等半导体制作技术,制作出微型机械元件、光学元件及电子元件,并将之整合成单一系统做在硅晶片上,这称为"微机电系统"。它最大的优点就是"小",并且应用广泛。目前世界上已经可以做出小于直径100纳米的微机电元件。目前已知及开发中的应用有:胶囊式胃镜——患者可吞服然后通过粪便排泄,从而避免痛苦;微型加速度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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