| LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的生命周期评价 |
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| 引用本文： | 朱南京,李涛,彭世通,张洪潮.LPCVD法制备TiO_2纳米薄膜的生命周期评价[J].工业安全与环保,2016(3):7-10. |
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| 作者姓名： | 朱南京 李涛 彭世通 张洪潮 |
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| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院 辽宁大连116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51205042)。 |
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| 摘 要： | 针对纳米材料生产的高能耗、低生产率的特点,用生命周期评价(LCA)方法对纳米TiO_2薄膜生产过程进行了环境影响评价,并通过设置不同的低压化学气相沉积过程(LPCVD)工艺参数,研究了工艺参数中温度和压强对于TiO_2薄膜评价结果的影响。研究显示,纳米TiO_2薄膜生产阶段的环境表现受LPCVD过程工艺参数影响,评价结果可用于指导LPCVD工艺优化。
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| 关 键 词： | 低压化学气相沉积 生命周期评价 二氧化钛薄膜 |
Life Cycle Assessment of Nano -TiO2 Film Preparation by LPCVD |
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| Abstract: | In view of the shortcomings of high energy consumption and low productivity in nano materials production pro-cess ,life cycle assessment is used to evaluate the environmental impact of nano -TiO2 film production stage .By setting dif-ferent LPCVD parameters ,the impact of temperature and pressure on the evaluation result is also studied .This study shows the environmental performances of nano -TiO2 film production stage are influenced by LPCVD process parameters ,and the assessment result is the basic for the LPCVD process optimization . |
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| Keywords: | low-pressure chemical vapor deposition life cycle assessment nano-TiO2 film |
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