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| 粉末溅射SnO2／SnO2：Pt双层膜对CO的气敏特性 | |
| 引用本文： | 刘文利.粉末溅射SnO2／SnO2：Pt双层膜对CO的气敏特性[J].山东环境,1999(5):38-39. |
| 作者姓名： | 刘文利 |
| 作者单位： | 山东工业大学数理系 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种新型结构ＣＯ敏的半导体薄膜材料－粉末溅射方法制备的表面层掺杂ＳｎＯ２／ＳｎＯ２：Ｐｔ双层膜的气敏特性。分析了双层膜中的导电层厚度对气敏特性的影响，并对气敏机是的有关问题进行了讨论。 |
| 关 键 词： | 一氧化碳 气敏特性 粉末溅射 传感器 |
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