上海市半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究 |
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引用本文: | 徐捷,魏海萍,修光利,伏晴艳,吴迓名,李炎,王歆文. 上海市半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究[J]. 上海环境科学, 2007, 26(5): 198-202 |
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作者姓名: | 徐捷 魏海萍 修光利 伏晴艳 吴迓名 李炎 王歆文 |
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作者单位: | [1]上海市环境监测中心,上海200030 [2]华东理工大学,上海200237 |
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摘 要: | 采用工艺调查与现场监测相结合的方法,研究了半导体行业废气排放中挥发性有机物(VOCs)的种类和排放水平。结果表明,共检测出26种有机物,其中以异丙醇排放量最大。采用排放系数法估算了2004年上海市半导体行业VOCs的排放量和2010年的预期排放量,并提出了加强和完善排放标准及清洁生产等控制措施的建议。
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关 键 词: | 挥发性有机物 半导体制造 排放速率 |
A Study on Emission Pattern of Volatile Organic Compounds (VOCs) from Semiconductor Manufacturing Industry |
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