多晶硅生产中双管板四氯化硅汽化器的设计

本文介绍了四氯化硅汽化器的功能和结构特点。从双管板、积液程、换热管与管板连接结构和氢气分布器结构等方面对四氯化硅汽化器进行了设计阐述。给出了汽化器的压力试验顺序和无损检测方法。四氯化硅汽化器运行状况良好,说明了该汽化器的结构设计合理,为双管板换热器的设计提供了可供借鉴的经验。