HAZOP在集成电路制造工艺过程安全风险评估中的应用

安全风险评估是企业安全生产管理的基础,本文通过对集成电路制造生产过程特点的分析,从常用的几种安全风险评估方法中选取危险性和可操作性研究(HAZOP,Hazard and Operability Study)方法,阐述HAZOP对生产过程进行风险评估的适用性,介绍HAZOP风险评估过程及注意事项,并用案例进行说明。