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| 一种废气处理方法和装置 | |
| 摘 要： | 该发明公开了一种对半导体生产线、集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇吸排的废气首先通过层状活性炭除味过滤器进行预过滤，将废气中的气相和／或汽相带有异味的物质除去；接着废气通过袋式除尘器将粉尘等除去。进入袋式除尘器内的废气已经通过预过滤器将附着性较强的气相和／或汽相的带有异味的物质除去， |
| 关 键 词： | 废气处理装置 半导体生产线 袋式除尘器 集成电路器件 预过滤器 行处理 活性炭 附着性 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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