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| 日本开发出氟回收新技术 | |
| 引用本文： | 武海蓬.日本开发出氟回收新技术[J].中国人口．资源与环境,1992(2). |
| 作者姓名： | 武海蓬 |
| 摘 要： | 日本每年用在大规模集成电路蚀刻和冲洗上的氢氟酸达1万吨。最近日本东北大学和有关生产厂家共同开发出一种新的氟回收装置,即把蚀刻和冲洗两部分排水分开处理,用碳酸钙取代目前使用的熟石灰处理废液,成功地从中回收到氟化钙,并做为氟的生产原料加以综合利用。对废液中仍残存的氟又用吸附性树脂做二次去 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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