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| 反渗透在超纯水排放水处理中应用 | |
| 引用本文： | 施健荣,秦新安.反渗透在超纯水排放水处理中应用[J].资源节约与环保,2013(6):95-95. |
| 作者姓名： | 施健荣 秦新安 |
| 作者单位： | 无锡微电子科研中心,江苏无锡214035 |
| 摘 要： | 针对超纯水产水效率低,在目前纯水制备系统基础上,为提高产水效率,采用增加一套反渗透系统,对原有纯水系统排放水进行收集处理,提高了水资源利用率,降低了超纯水制备成本. |
| 关 键 词： | 超纯水 反渗透 排放水 |
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