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一种高速双极工艺的ESD设计优化
作者姓名:徐佳丽  杨阳  周远杰
作者单位:中国电子科技集团公司第二十四研究所
摘    要:针对国内某高速双极工艺的静电保护能力瓶颈问题,我们分析了原标准库静电结构的不足,研究了三极管的击穿特性,提出一种二极管与CE结并联的新型保护结构,并对版图进行了优化,工艺流片结果表明其满足2 kV(HBM)要求。该结构近几年已成功应用于多个高速运算放大器、电压比较器、宽带检波器等项目,由此完善了工艺抗静电平台的建设。

关 键 词:高速双极工艺  静电器件  ESD版图优化
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