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| 射频溅射作业的劳动防护 | |
| 引用本文： | 吴大伟,胡南山.射频溅射作业的劳动防护[J].劳动保护,1982(5). |
| 作者姓名： | 吴大伟 胡南山 |
| 作者单位： | 上海有线电厂研究所，上海有线电厂研究所 工程师，工程师 |
| 摘 要： | 我国早期生产的射频溅射仪由于缺乏高频匹配网络及采用空气绝缘的刚性同轴线传输,因而造成高达100伏/米以上的强电磁波辐射,严重影响操作者的健康。上海有线电厂在中国科学院上海冶金研究所的帮助下,给批量生产的JG-PF3B型高频溅射仪设计了双管推挽电路,加装了匹配网络,电源传输采用柔性同轴电缆馈送,从而大大减少了设备本身射频辐射的泄漏。但射频装置泄漏的射频电磁波辐射和溅射真空室的射线辐射对操作人员还是有害的,因此必须采取以下防护措施。 射频辐射防护 射频电磁波辐射人体,主要影响中枢神经系统和心血管系统。影响的程度主要取… |
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