电子显微镜

若将电子显微镜进行分类,可大致分为透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)两种。还有扫描—透射电子显微镜,由于是一种特例,本章予以省略。 图20—1中,光学显微镜(a),是使光透过镜头,观察试样的放大像;透射电子显微镜(b),是使电子线穿透试样,观察放大后的试样内部构造。基本上是用聚光透镜将电子源发射的电子射线变成平行光束,再照射到试样上。透过试样的电子束用的镜、中间透镜、投影透镜等使其放大,从而在荧光屏上得到最终的图像。分辨率高的仪器还可进行原子的结构解析,甚至还具有纳米级微小区域的电子衍射及组成分析的功能。