洁净室技术标准化简讯（二）

ISO 14644-9表面洁净度分级国际标准动态（Classification of Surface Particle Cleanliness）从2007年3月开始，经过ISO／TC 209成员国网上投票结果，“表面洁净度分级”将正式纳入国际标准的编制程序中。