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| 半导体制造业的环境污染与清洁生产 | |
| 引用本文： | 余刚,罗玉(车舟). 半导体制造业的环境污染与清洁生产[J]. 环境保护, 2000, 0(8): 36-37 |
| 作者姓名： | 余刚 罗玉(车舟) |
| 作者单位： | 清华大学环境科学与工程系,北京,100084 |
| 摘 要： | 在分析半导体制造过程中不同工艺产生的环境污染问题的基础上，讨论了半导体制造业开展清洁生产的原则和途径，介绍了一些成功的清洁生产方案。 |
| 关 键 词： | 半导体制造业 清洁生产 环境污染 无污染工艺 |
Environmental Pollution of Semiconductor Industry and Cleaner Production |
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| Yu Gang. Environmental Pollution of Semiconductor Industry and Cleaner Production[J]. Environmental Protection, 2000, 0(8): 36-37 | |
| Authors: | Yu Gang |
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| Keywords: | |
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