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| 电子气体使用系统的安全管理要务 | |
| 引用本文： | 陈毅功.电子气体使用系统的安全管理要务[J].安防科技,2004(8):19-21. |
| 作者姓名： | 陈毅功 |
| 作者单位： | 华润半导体有限公司 |
| 摘 要： | 电子气体使用系统的安全管理由四个方面组成：电子气体使用系统安全管理的基本方针与基本管理规则：储存与搬运基本规程：更换与使用基本操作规程；以及维修保养基本规程。此外，应根据安全法规与生产实际，建立电子气体使用系统应急守则等。 |
| 关 键 词： | 电子气体 管理规则 系统安全管理 规程 生产 理由 基本方针 应急 安全法规 搬运 |
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