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| 半导体生产用废化学试剂松节油再生提纯技术 | |
| 引用本文： | 赵仁佳.半导体生产用废化学试剂松节油再生提纯技术[J].环境保护,1991(1):18-20. |
| 作者姓名： | 赵仁佳 |
| 摘 要： | 半导体元件生产对硅片表面选择腐蚀时,使用真空封蜡作屏蔽保护;腐蚀结束,再用试剂松节油溶解去除胶脂,清洗硅片表面。使用后的废松节油中主要混溶了真空封蜡并含有少量水份,呈黑色混合液,具有挥发性刺激气味。废油排放后,污染水体,危害环境。我们应用精密蒸馏和离心分离等技术,于1987年研制了一套再生处理装置,成功地将废油直接提纯为分析纯试剂松节油,循环重复使用于生产中。松节油是64％α蒎烯和33％β蒎烯及少量二聚戊烯组成的烃的混和物,分子式表示为C_(10)H_(16),它具有很强的溶剂性能,常作为一 |
| 关 键 词： | 半导体 废松节油 再生提纯技术 |
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