氟里昂清洗的替代技术

1.引言日本每年约使用13万吨氟里昂,其中氟里昂113为6万多吨,占全部使用量的一半以上(图1,2)。而氟里昂113主要用作清洗剂,占其总用量的90％以上。氟里昂113清洗剂用于精密机械的清洗、印刷板的清洗、压力机加工品的清洗等约各占20％。由此也可了解到,基于氟里昂113具有:①热稳定性和化学稳定性;②高安全性(低毒、不燃);③耐腐蚀性;④电绝缘性高;⑤热力学性能好,过去日本的电子工业、精密机械等高技术产业一直用它作主要的清洗剂。